超精密拋光對(duì)拋光機(jī)中磨盤的材料構(gòu)成和技術(shù)要求近乎苛刻，這種由特殊材料合成的鋼盤，液壓拉面機(jī)不僅要滿足自動(dòng)化操作的納米級(jí)精密度，更要具備的熱膨脹系數(shù)。當(dāng)拋光機(jī)處在高速運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)時(shí)，如果熱膨脹作用導(dǎo)致磨盤的熱變形，基片的平面度和平行度就無法保證。而這種不能被允許發(fā)生的熱變形誤差不是幾毫米或幾微米，而是幾納米。